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微型机械泛指尺寸范围为毫米、微米或纳米级,集微机构、微传感器、微驱动器、微执行器和微控制器为一体的的微型机电系统.中国在近十年期间,通过微齿轮、微泵、微电机、微马达、微型飞机和微型陀螺等研究,在MEMS领域取得了突出进展.
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